Sputtern Schlagwort sensu stricto Schlagwort
JSON

URI https://d-nb.info/gnd/4182614-0
EntitätstypSchlagwort sensu stricto
GND-Nummer4182614-0
GND-SachgruppeFertigungstechnik  | Elektronik, Nachrichtentechnik 
Oberbegriff allgemeinPVD-Verfahren  | Zerstäubung 
Gleichwertighttp://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85127061  | https://data.bnf.fr/ark:/12148/cb121281963 
In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 1http://dewey.info/class/667.9/ 
In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2http://dewey.info/class/530.416/ 
BenutzungshinweiseVerknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Varianter NameIonstrahlsputtern | Kathodenzerstäubung | Ionenstrahlsputtern | Ionenzerstäubung | Sputterverfahren |
Siehe auchDeutsche Nationalbibliothek (DNB) Deutsche Nationalbibliothek (DNB) | Wikidata Wikidata

Datenquelle: DNB Linked-Data-Service (RDF/XML, Turtle) | CC0

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